Everhart-Thornley dedektörü - Everhart-Thornley detector

Everhart-Thornley Dedektörü (E-T dedektörü veya ET dedektörü) bir ikincil elektron ve geri saçılmış elektron detektör kullanılan taramalı elektron mikroskopları (SEM'ler). Adını tasarımcılarından almıştır, Thomas E. Everhart ve Richard F. M. Thornley 1960 yılında, SEM'in boşaltılmış numune odası içindeki sintilatörden gelen foton sinyalini cihaza taşımak için bir ışık borusu ekleyerek mevcut ikincil elektron dedektörlerinin verimliliğini artırmak için tasarımlarını yayınlayan fotoçoğaltıcı odanın dışında.^[1] Bundan önce Everhart, ikincil elektron tespiti için bir tasarım geliştirmişti. Vladimir Zworykin ve Jan A. Rajchman elektron çarpanını bir fotoçoğaltıcıya değiştirerek. Işık kılavuzu ve yüksek verimli fotomultiplier ile Everhart-Thornley Dedektörü, SEM'lerde en sık kullanılan dedektördür.

Detektör temel olarak bir sintilatör içinde Faraday kafesi mikroskobun numune haznesinin içinde. Düşük pozitif Voltaj Faraday kafesine nispeten düşük enerjiyi (50'den az) çekmek için uygulanır. eV tanım gereği) ikincil elektronlar. Numune odası içindeki diğer elektronlar bu düşük voltaj tarafından çekilmez ve detektöre yalnızca hareket yönleri onları ona götürürse ulaşır. Sintilatör, gelen elektronları ışık fotonlarına dönüştürülebilecekleri yere hızlandırmak için yüksek bir pozitif voltaja (10.000 V doğada) sahiptir.^[2] Seyahatlerinin yönü, ayna görevi gören sintilatör üzerindeki metal bir kaplama ile ışık kılavuzuna odaklanır. Işık borusunda fotonlar, amplifikasyon için mikroskobun vakum odasının dışından bir fotoçoğaltıcı tüpüne gider.

E-T sekonder elektron detektörü, SEM'in geri saçılmış elektron modunda Faraday kafesini kapatarak veya Faraday kafesine bir negatif voltaj uygulayarak kullanılabilir. Bununla birlikte, E-T dedektörünü bir BSE dedektörü olarak kullanmak yerine, özel BSE dedektörlerinden daha iyi geri saçılmış elektron görüntüleri gelir.

Referanslar