İşlem penceresi - Process window - Wikipedia

işlem penceresi belirli bir üretim süreci için tanımlanmış bir sonuç veren çeşitli parametrelere sahip bir grafiktir. Tipik olarak, bu tür bir grafikte, sürecin iyi davrandığı merkezi bir bölgeye sahip birden fazla parametre çizilirken, dış sınırlar, işlemin kararsız hale geldiği veya olumsuz bir sonuç verdiği bölgeleri tanımlar. Süreç performansının istatistiksel bir değerlendirmesi, ilgili performansın hesaplanmasıyla gerçekleştirilir. İşlem Penceresi Dizini.

Başvurular

Tipik uygulamalar şurada bulunur: fotolitografi ^[1] Bir fotoresistin sıcaklık, radyasyon yoğunluğu, kritik boyut ve yapıların yan duvar açısı gibi parametrelere tepkisinin, aşağıdaki gibi bir optik parametreye karşı çizildiği yerde sayısal açıklık bir pozlama aletinin tasarımını optimize etmek veya tekrarlanabilir bir sonuç ve yüksek verim elde etmek için.

Referanslar